晶圆车间不锈钢转运车专为晶圆厂、芯片封装、光电洁净车间设计，是 FOUP 晶圆盒、硅片、光罩、载具短途转运的专用无尘物料车，满足 ISO14644 洁净标准，广泛适配 ISO5、ISO6、ISO7、ISO8 千级、万级无尘车间。

晶圆车间不锈钢转运车主体采用SUS304 不锈钢，可选 316L 不锈钢，整车满焊一体成型，焊缝打磨抛光处理，表面电解抛光（EP），表面粗糙度低，无毛刺、无死角，不易藏污纳垢，擦拭清洁简单，可耐受 VHP 汽化过氧化氢消杀，反复擦拭不掉颗粒，避免微粒污染晶圆表面。区别普通不锈钢推车，晶圆转运车重点强化防静电与减震设计，配置 ESD 防静电静音脚轮，表面电阻可控，释放静电，防止静电击穿精密晶圆电路；减震结构降低移动振动，减少硅片碎片、FOUP 盒移位风险，振动控制稳定，保护高价值晶圆载具。

晶圆厂不锈钢转运车

不锈钢转运车核心配置参数

晶圆车间304搬运车的核心优势

1.高洁净结构设计 

晶圆厂不锈钢转运车整车无外露螺丝、无积尘凹槽，边角圆弧过渡，层板可选实板或透气孔板，优化层流气流，减少粉尘滞留；表面电解抛光，不易吸附微尘，适配无尘车间日常清洁消杀流程，不干扰洁净室气流组织。

2.稳定防静电性能 

配套防静电聚氨酯洁净脚轮，带接地结构，具备稳定泄放静电能力，杜绝静电损伤晶圆芯片，满足半导体 ESD 防静电管控要求，适合 12 寸、8 寸晶圆 FOUP 盒转运。脚轮可选双刹车定位，转运到位后锁止，防止滑移碰撞机台端口。

3.低震动防护，适配精密载具

可选独立减震配置，推行顺滑，启停、转弯冲击小，降低搬运过程振动，保护薄硅片、光罩盒，减少搬运破损；可定制 FOUP 专用定位卡槽、限位护栏，固定晶圆盒，防止倾倒滑落。

4.按需非标定制 

支持单层、双层、多层结构定制，可做开放式、带护栏、封闭式柜体款；尺寸、承重、层间距可根据 FOUP 规格、车间通道宽度定制；把手、脚轮布局可调整，适配晶圆车间狭窄通道、机台周边转运场景。

5.耐腐蚀、长寿命 

304/316L不锈钢耐酸碱清洗溶剂腐蚀，长期在洁净潮湿、化学挥发环境使用不易生锈，不易掉漆掉屑，没有涂层脱落污染风险，使用寿命远高于碳钢喷涂周转车。

晶圆车间不锈钢转运车看似简单，却是保障晶圆良率与洁净室合规的"隐形守门员"。选型时务必从洁净度、防静电、减震三个维度综合评估，并匹配实际载具与车间等级，才能既控成本又保良率。